一、 產品描述（shù）

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對（duì）各種精密器件及材料表麵進行亞納米級（jí）測量的檢測儀器。它（tā）是以白光幹涉（shè）技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法（fǎ）等對器件表麵進行非接觸式（shì）掃描並建（jiàn）立表麵3D圖像（xiàng），通過係統軟（ruǎn）件對器件表麵3D圖像進行數據處（chù）理與分析，並獲取反映器件表麵（miàn）質（zhì）量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光（guāng）學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢（jiǎn）測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納（nà）材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等（děng）超精密加工（gōng）行業及航空（kōng）航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測（cè）各類從超光滑到粗糙、低反射（shè）率到高反射率的物體表麵，從納米到微米級別（bié）工件的（de）粗糙度、平整（zhěng）度（dù）、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共（gòng）計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

二、產品功能（néng）

1）係統光源及壽命（mìng）：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；

2）測量模式：垂直掃描幹涉模式（VSI），相移幹涉模式（PSI），結（jié）合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）；

3）多（duō）區域自動分析：自動獲取圖案化形貌（mào）區域的三維信息（高度、寬度、麵積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統（tǒng）計分析（xī）功（gōng）能。

4）具備各（gè）種類型樣（yàng）品表麵微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備（bèi）表麵粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度範圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別（bié）；

6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

7）具（jù）備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析（xī）、功能分析等表麵參數分析功能；

8）具備自動對（duì）焦、自動（dòng）測量、自動多區域測（cè）量、自動拚接測量等自（zì）動化功能（néng）；

9）具備一鍵分析、多文（wén）件分析（xī）等（děng）快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報表導（dǎo）出功能。

三、應（yīng）用（yòng）領域

　　對各種產品、部件和材料表（biǎo）麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨（mó）損（sǔn）情（qíng）況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情（qíng）況、加工情況等表麵形貌特征進行測量和分析。

應用範例：

半導體.拋光矽片、減薄矽片、晶圓IC
3C電子.藍寶石玻璃粗（cū）糙度、手機金屬殼模具瑕（xiá）疵、手機油（yóu）墨屏高度差
超精密加工.光學透（tòu）鏡	精密加工.發動機（jī）葉片
精密加工.金字（zì）塔（tǎ）型金剛石（shí）磁頭	標準樣塊.單刻線台階（jiē）、多刻線粗糙度

四、性能特色

1.高精度（dù）、高重複（fù）性

1）采用光學幹涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重（chóng）建算法組成測量係統，保證測量精度高；

2）獨特的隔振係統（tǒng），能夠有效隔（gé）離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地麵振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩（wěn）定使用，獲得極高的測量重複性。

2.一體化操作的測量分析軟（ruǎn）件

1）測量與分析同界麵操作，無須切換，測量數據自動統計，實現（xiàn）了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便於用戶實時（shí）觀察掃描過程；

3）幾何（hé）分析（xī）、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功（gōng）能分析五大功能模塊齊全；

4）一（yī）鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析（xī）模板，批量樣品一（yī）鍵分析，並提供數（shù）據分析與統計圖表功能；

5）可測依據（jù）ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300餘種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄

　　集（jí）成X、Y、Z三個方（fāng）向位移調（diào）整功能的操縱手柄，可快（kuài）速完成載物台平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

 4.雙重（chóng）防撞保（bǎo）護措施（shī）

　　除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下（xià）限位進（jìn）行防（fáng）撞（zhuàng）保護外（wài），另在Z軸上設計有機械電（diàn）子傳感器，當鏡頭（tóu）觸碰（pèng）到樣品表（biǎo）麵時，儀器自動進入緊急（jí）停止狀（zhuàng）態，最大限度的保護儀器，降低人為操作風險。

5.雙通道氣浮隔振係統

　　既可以接入客戶（hù）現場的穩定氣源也可以接入標（biāo）配靜音空壓機，在無外接氣源（yuán）的條件（jiàn）下也可穩定（dìng）工作。

五、應用案例：

六、樣品測試報告：

　　點擊表格（gé）內圖片或文字可查看（kàn）詳細報告數據

懇請注意（yì）：因市場發（fā）展和（hé）產品開發的需要，本（běn）產品資料中有關內容可（kě）能會根據實際情況隨時更（gèng）新或修改（gǎi），恕不另行通知，不（bú）便（biàn）之處敬請諒解。